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应用介绍
1.什么是臭氧和臭氧的危害。
臭氧是大气中的微量气体，由三个氧原子组成。主要存在于距地面10—50千米的平流层，构成臭氧层，能阻挡紫外线，需加以保护。少部分臭氧分布在近地面，也有一定防护作用。
当臭氧达到一定浓度时，可使人呼吸加速、胸闷，如果浓度进一步提高，可引起脉搏加速、疲倦、头痛尘散，在这样的环境中停留1小时，会发生肺气肿，甚至死亡。长期待在臭氧污染严重的环境中，对皮肤健康也可能有损伤，还可能增加致癌危险。臭氧污染还会对环境造成损害。比如，会导致植物叶片坏死、脱落，危害生态环境，造成农作物减产等
2.臭氧在半导体工业中的应用
在过去的几年中，臭氧在半导体工业的应用越来越受到重视，特别是在品圆清洗过程。
在半导体行业，清洁度是一个的要求。即使是很小的污染物痕迹也会导致晶圆表面区域结构的改变自80年代未以来，在芯片生产中采用臭氧的清洁工艺已经被使用。随着修改和新方法的开发，人们的兴趣继续增长。每个晶圆处理步骤都是潜在的污染源，每个步骤都有其特定类型的污染物。这意味着一个有效的清洗过程包括几个清洗步骤，以去除晶体上的所有污染物。同时“清洁"的行业要求扩展到设备(臭氧发生器，接触到的设备)，这意味着不会产生颗粒，没有金属，离子或有机污染物。所以在半导体行业中会或多或少的有臭氧气体的挥发到空气中。
3.怎么对进行臭氧气体监测
在此，深圳市富安达智能科技推荐一款臭氧传感器(O3/M-5)，该传感器具有响应速度快、抗干扰、分辨率高、线性度好、灵敏度高等特点。
深圳市富安达智能科技有限公司（富安达智能，ASA）创立于2003年，已成为中国传感器及整体解决方案的企业，是专业从事传感器应用硬件、软件及相关系统的应用设计、服务和销售服务的专业系统配套方案提供商，在国内与多所高校和多个研究院所建立了长期紧密的技术合作关系,并与国外多家公司建立了长远的战略伙伴关系。
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